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根據廢氣燃燒的熱量平衡，催化燃燒工藝流程可分為3種。(1)預熱式。有機廢氣溫度和濃度都較低，熱量不能自給，因此在進入反應器前需要在預熱室加熱升溫。燃燒凈化后氣體在熱交換器內與未處理廢氣進行熱交換，以回收部分熱量。該工藝通常采用或電加熱升溫至催化反應所需的起燃溫度。(2)自身熱平衡式。當有機廢氣排出時溫度高于起燃溫度(350℃左右)且有機物含量較高時，熱交換器回收部分凈化氣體所產生的熱量，在正常操作下能夠維持熱平衡，無需補充熱量，通常只需要在催化燃燒反應器中設置電加熱器供起燃時使用。(3)吸附濃縮+催化燃燒。當有機廢氣的流量大、濃度低、溫度低，采用催化燃燒需耗大量燃料時，可先采用吸附手段將有機廢氣吸附于吸附劑上進行濃縮，催化燃燒 環評，然后通過熱空氣吹掃，使有機廢氣脫附濃縮成為高濃度有機廢氣(可濃縮10倍以上)，再進行催化燃燒。此時，不需要補充熱源，就可維持正常運行。